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無(wú)塵潔凈室技術(shù)應(yīng)用

發(fā)表時(shí)間: 2020-06-29

  無(wú)塵潔凈室技術(shù)應(yīng)用。

  無(wú)塵潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù),一直是潔凈室設(shè)計(jì)中受到關(guān)注的題目,跟著潔凈室污染源的控制效果增加及末級(jí)過(guò)濾器效率的進(jìn)步等,對(duì)有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提 出的推薦或參考值是否偏于守舊,已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞維修等題目已在實(shí)踐中得到解決,跟著FFU的精益求精,對(duì)是否采用 FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是個(gè)熱門:懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC產(chǎn)業(yè)中已日益提到日程上來(lái),受到關(guān)注。

凈化工程

 

  無(wú)塵潔凈室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定,隨潔凈室用途等詳細(xì)情況而異,它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過(guò)濾器效率還受其他因素影響,就產(chǎn)業(yè)潔凈室而言,影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是:

  (1)室內(nèi)污染源:建筑物組件、職員數(shù)目及操縱流動(dòng)、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒開(kāi)釋源,根據(jù)詳細(xì)情況而異,變化很大;

  (2)室內(nèi)氣流流型及分布:?jiǎn)蜗蛄饕笃骄⑼鹊牧骶€,但會(huì)受到工藝設(shè)備布置和位置變動(dòng)及職員流動(dòng)情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,避免死角及溫度分層。以下對(duì)這些題目的情況分別作歸納和分析。


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