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實(shí)驗(yàn)室潔凈室施工與驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
實(shí)驗(yàn)室凈化工程是除了對(duì)實(shí)驗(yàn)樣品的安全起到保護(hù)的作用之外,也是為實(shí)驗(yàn)成功與實(shí)驗(yàn)人員的安全保駕護(hù)航的重大措施之一。實(shí)驗(yàn)室凈化工程是將實(shí)驗(yàn)室某一區(qū)域開(kāi)辟出來(lái),專門用于建造有空氣潔凈等級(jí)的、實(shí)驗(yàn)環(huán)境要求相對(duì)較高的實(shí)驗(yàn)室或者無(wú)菌室。
實(shí)驗(yàn)室凈化工程系統(tǒng)與傳統(tǒng)的潔凈室系統(tǒng)其實(shí)是大同小異的,只不過(guò)實(shí)驗(yàn)室對(duì)潔凈室內(nèi)的壓力、微生物控制及溫濕度控制相對(duì)較工業(yè)潔凈室要嚴(yán)格。常見(jiàn)的實(shí)驗(yàn)室凈化工程裝修材料有夾心彩鋼板、鋼化玻璃、防火板等,潔凈實(shí)驗(yàn)室必須按照《潔凈室施工與驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)》采用可以較好的密封并且不產(chǎn)塵的材料進(jìn)行隔斷、吊頂裝修,潔凈實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)系統(tǒng)一般采用組合式空調(diào)機(jī)組,其送風(fēng)系統(tǒng)與各業(yè)潔凈室工程不同的地方是,不是所有實(shí)驗(yàn)室都可以設(shè)置回風(fēng)系統(tǒng)的,這需要根據(jù)用戶實(shí)驗(yàn)室的用途以及實(shí)驗(yàn)產(chǎn)品而定。類似于生物安全類實(shí)驗(yàn)室就不可以做回風(fēng)系統(tǒng),或者說(shuō)要以全排式潔凈室的做法來(lái)施工。
實(shí)驗(yàn)室凈化工程等級(jí)設(shè)計(jì)也很關(guān)鍵,一般的無(wú)菌室實(shí)驗(yàn)室潔凈度等級(jí)都是萬(wàn)級(jí),一般普通實(shí)驗(yàn)室則大范圍十萬(wàn)級(jí)~萬(wàn)級(jí)的布局設(shè)計(jì)。生物安全實(shí)驗(yàn)室、陽(yáng)性對(duì)照實(shí)驗(yàn)室以及微生物培養(yǎng)實(shí)驗(yàn)室則需按照靜態(tài)百級(jí)的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì)、施工。
實(shí)驗(yàn)室凈化工程分類:
一、凈化工程亂流式
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈工程室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。
優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴(kuò)充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無(wú)塵工作臺(tái),提高潔凈室等級(jí)。
缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。
二、凈化層流式
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出,由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單,運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
缺點(diǎn):建造費(fèi)用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。
優(yōu)點(diǎn):管理容易,運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點(diǎn):構(gòu)造費(fèi)用較高,彈性運(yùn)用空間困難,天花板之吊架相當(dāng)占空間,維修更換過(guò)濾器較麻煩。
三、凈化工程復(fù)合式
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道:以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴(kuò)充容易;B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
(2)潔凈管道:將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部潔凈室:將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。
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