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電子制造業(yè)無塵室的特點(diǎn)(電子無塵車間的要求)
隨著計(jì)算機(jī)、微電子和信息技術(shù)的發(fā)展,推動(dòng)了電子制造業(yè)的飛速發(fā)展,也帶動(dòng)了無塵室技術(shù)的發(fā)展,同時(shí)對(duì)無塵室的設(shè)計(jì)提出了更高的要求,電子制造業(yè)的無塵室設(shè)計(jì)是一項(xiàng)綜合的技術(shù),只有充分了解電子制造業(yè)的無塵室設(shè)計(jì)特點(diǎn),做到設(shè)計(jì)合理,才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低,提高生產(chǎn)效率。
電子制造業(yè)無塵室的特點(diǎn):
潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,另外該類無塵室對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來說,電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊無塵車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。 這時(shí)可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)無塵室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
1、電子制造廠萬級(jí)無塵室內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)。
2、電子制造廠無塵室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流無塵室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。
3、電子制造廠無塵室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。
4、電子制造行業(yè)萬級(jí)無塵室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的最大值:
(1)補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
(2)保證供給無塵室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
(3)電子制造行業(yè)無塵室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫?cái)嚯姳Wo(hù),若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無水保護(hù),寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無塵室的送風(fēng)量,應(yīng)取下面三項(xiàng)最大值:保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量;根據(jù)熱,濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠無塵室的送風(fēng)量;向電子制造廠無塵室內(nèi)供給的新鮮空氣量。
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